微纳加工平台拥有半导体材料器件制备工艺所需的整套仪器设备，建立了一条研发中试线，加工尺寸覆盖2-8英寸，可支撑光电、功率、MEMS、以及生物传感等多品类芯片制造工艺开发。平台对国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享，可为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供全方位的支持，欢迎来信洽谈合作。
更新时间：2025-08-13 直链：www.micronanolab.cn
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