关键词： (16个字符) 中国科学技术大学微纳米工程实验室、
描述： (88个字符) 中国科学技术大学微纳米工程实验室，研究方向涵盖微纳米器件及系统、扫描探针显微镜及其标准化、基于压电陶瓷的微系统设计、制造与测量技术、飞秒激光微纳米制造技术、纳米制造信息平台等。
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